Ürün Avantajı
• Üstün kalitede kendine ait hammaddeler
• Tescilli kaplama ve saflaştırma teknolojileri
• Tam spektrumlu işleme işlemleri ve kapsamlı kalite kontrol önlemleri
Teknik Parametreler
Harog'un Epitaksi ve Tavlama için Grafit Destek Tepsisinin Veri Sayfası
Başvuru |
Grafit Saflığı |
Hoşgörü |
CTE |
Aylık Kapasite |
Not |
Silikon Epitaksi |
≤1 ppm |
±0,005 mm |
4.2 |
500 takım |
Müşteri çizimlerine göre üretim |
LED Epitaksi |
≤1 ppm |
±0,005 mm |
4.0 |
1500 takım |
Ürün Özellikleri
• Yüksek Saflık: Ultra yüksek saflıkta grafit ile tasarlanmış olup minimum düzeyde kirlenme ve optimum kristal büyüme koşulları sağlar.
• Termal Kararlılık: Kristal büyüme süreçleri için hayati önem taşıyan yüksek sıcaklıklarda yapısal bütünlüğü koruyarak olağanüstü termal kararlılık sergiler.
• Düzgün Yüzey: Tutarlı kristal çekirdeklenmesini ve büyümesini kolaylaştıran pürüzsüz ve düzgün bir yüzeye sahiptir.
Teknik Avantajlar
• Üstün İletkenlik: Yüksek elektrik ve termal iletkenlik, verimli enerji aktarımını destekleyerek kristal büyümesinin genel verimliliğini artırır.
• Düşük Genleşme Katsayısı: Düşük termal genleşme katsayısı, sıcaklık dalgalanmaları sırasında deformasyonu en aza indirerek hassas boyut kontrolü sağlar.
• Dayanıklılık: Olağanüstü mekanik güç ve aşınmaya karşı direnç, uzun vadeli güvenilirlik sağlar ve sık alt tabaka değiştirme ihtiyacını azaltır.
Uygulamalar
• Yarı İletken Üretimi: Yüksek performanslı elektronik cihazların üretiminde hayati önem taşıyan silikon ve galyum arsenit gibi yarı iletken malzemelerin epitaksiyel büyümesinde kullanılır.
• İnce Film Biriktirme: İnce film biriktirme süreçlerini destekleyerek, tekdüze malzeme biriktirme için sağlam bir platform sağlar.
• Tavlama Prosesleri: İstenilen özellikleri elde etmek için malzemelerin kontrollü bir ortamda ısıtılması ve soğutulması gereken tavlama uygulamaları için idealdir.
Harog Technology'nin grafit destek tepsileri, epitaksi ve tavlama işlemlerinin katı gereksinimlerini karşılamak üzere tasarlanmış olup, yarı iletken ve ince film üretimi için güvenilir ve yüksek performanslı bir çözüm sunar.
