제품 장점
• 자체 소유한 최고급 품질의 원자재
• 독자적인 코팅 및 정제 기술
• 전체 스펙트럼 가공 작업 및 포괄적인 품질 관리 조치
기술적인 매개변수
에피택시 및 어닐링을 위한 Harog 흑연 지지 트레이 데이터시트
애플리케이션 |
흑연 순도 |
용인 |
CTE |
월간 용량 |
메모 |
실리콘 에피택시 |
1ppm 이하 |
±0.005mm |
4.2 |
500 세트 |
고객 도면을 기반으로 제작 |
LED 에피택시 |
1ppm 이하 |
±0.005mm |
4.0 |
1500 세트 |
제품특징
• 고순도: 초고순도 흑연으로 가공되어 최소한의 오염과 최적의 결정 성장 조건을 보장합니다.
• 열 안정성: 탁월한 열 안정성을 보여 결정 성장 공정에 중요한 높은 온도에서 구조적 무결성을 유지합니다.
• 균일한 표면: 매끄럽고 균일한 표면이 특징으로 일관된 결정 핵 생성 및 성장을 촉진합니다.
기술적 장점
• 탁월한 전도성: 높은 전기 및 열 전도성은 효율적인 에너지 전달을 지원하여 결정 성장의 전반적인 효율성을 향상시킵니다.
• 낮은 팽창계수: 낮은 열팽창계수는 온도 변동 시 변형을 최소화하여 정밀한 치수 제어를 보장합니다.
• 내구성: 뛰어난 기계적 강도와 내마모성을 제공하여 장기적인 신뢰성을 제공하고 기판을 자주 교체할 필요성을 줄여줍니다.
응용
• 반도체 제조: 고성능 전자 장치 생산에 중요한 실리콘 및 갈륨 비소와 같은 반도체 재료의 에피택셜 성장에 사용됩니다.
• 박막 증착: 박막 증착 프로세스를 지원하여 균일한 재료 증착을 위한 안정적인 플랫폼을 제공합니다.
• 어닐링 공정: 원하는 특성을 달성하기 위해 통제된 환경에서 재료를 가열하고 냉각해야 하는 어닐링 응용 분야에 이상적입니다.
Harog Technology의 흑연 지지 트레이는 에피택시 및 어닐링 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되어 반도체 및 박막 제조를 위한 안정적인 고성능 솔루션을 제공합니다.
