Ventaja del producto
• Materias primas propias de primera calidad.
• Tecnologías patentadas de recubrimiento y purificación
• Operaciones de mecanizado de espectro completo y medidas integrales de control de calidad.
Parámetros técnicos
Hoja de datos de la bandeja de soporte de grafito de Harog para epitaxia y recocido
Solicitud |
Pureza del grafito |
Tolerancia |
CTE |
Capacidad Mensual |
Nota |
Epitaxia de silicio |
≤1 ppm |
±0,005 mm |
4.2 |
500 juegos |
Fabricación basada en planos del cliente. |
Epitaxia LED |
≤1 ppm |
±0,005 mm |
4.0 |
1500 juegos |
Características del producto
• Alta Pureza: Diseñado con grafito de pureza ultra alta, lo que garantiza una contaminación mínima y condiciones óptimas de crecimiento de cristales.
• Estabilidad térmica: Exhibe una estabilidad térmica excepcional, manteniendo la integridad estructural a temperaturas elevadas cruciales para los procesos de crecimiento de cristales.
• Superficie uniforme: Presenta una superficie lisa y uniforme, lo que facilita la nucleación y el crecimiento consistentes de los cristales.
Ventajas técnicas
• Conductividad superior: La alta conductividad eléctrica y térmica respalda la transferencia eficiente de energía, mejorando la eficiencia general del crecimiento de los cristales.
• Bajo coeficiente de expansión: El bajo coeficiente de expansión térmica minimiza la deformación durante las fluctuaciones de temperatura, lo que garantiza un control dimensional preciso.
• Durabilidad: Fuerza mecánica y resistencia al desgaste excepcionales, lo que proporciona confiabilidad a largo plazo y reduce la necesidad de reemplazo frecuente del sustrato.
Aplicaciones
• Fabricación de semiconductores: Se utiliza en el crecimiento epitaxial de materiales semiconductores como el silicio y el arseniuro de galio, cruciales para producir dispositivos electrónicos de alto rendimiento.
• Deposición de película delgada: admite procesos de deposición de película delgada, proporcionando una plataforma estable para la deposición uniforme del material.
• Procesos de recocido: Ideal para aplicaciones de recocido, donde los materiales deben calentarse y enfriarse en un ambiente controlado para lograr las propiedades deseadas.
Las bandejas de soporte de grafito de Harog Technology están diseñadas para cumplir con los estrictos requisitos de los procesos de epitaxia y recocido, ofreciendo una solución confiable y de alto rendimiento para la fabricación de semiconductores y películas delgadas.
