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반도체 공장의 입자 결함을 방지합니다. Ra가 실패하는 이유와 Rz 거칠기가 SiC 코팅 흑연 부품 박리 및 걸림을 방지하는 방법을 알아보세요.
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기판의 가스 방출로 인해 웨이퍼 수율이 저하되지 않도록 하십시오. CVD 및 에피택시에서 SiC 코팅 접착에 고순도 흑연이 중요한 이유를 알아보세요.
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