超高純度グラファイトと SiC コーティングされたサセプターは MOCVD に不可欠です。これらのコンポーネントは熱の均一性を確保し、汚染を防ぎ、半導体ウェーハの歩留まりを最大化します。
超音波検査により、半導体グラファイト部品が保護されます。隠れたボイドやコーティングの剥離を検出し、工場内での熱の不一致やコストのかかるウェーハの故障を防ぎます。
半導体グラファイトと溶融石英はウェーハ製造に不可欠です。グラファイトは極度の熱に耐えますが、石英は純度を確保し、収率を最適化し、総コストを削減します。