半導体工場における粒子欠陥を阻止します。 Ra が失敗する理由と、Rz 粗さが SiC コーティングされたグラファイト部品の剥離やトラップをどのように防止するかをご覧ください。
基板のガス放出によってウェーハの歩留まりが損なわれないようにしてください。 CVD およびエピタキシーにおける SiC コーティングの接着に高純度グラファイトが重要である理由を発見してください。
SiC コーティングされたグラファイト部品をコーティングに亀裂を生じさせることなく取り扱い、洗浄し、ウェハの汚染を防ぎ、部品の寿命を最大限に延ばす方法を学びます。