กราไฟท์บริสุทธิ์พิเศษและตัวรับที่เคลือบ SiC มีความสำคัญสำหรับ MOCVD ส่วนประกอบเหล่านี้รับประกันความสม่ำเสมอทางความร้อนและป้องกันการปนเปื้อน ช่วยเพิ่มผลผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ได้สูงสุด
การทดสอบด้วยคลื่นเสียงความถี่สูงช่วยยึดชิ้นส่วนกราไฟท์ของเซมิคอนดักเตอร์ โดยจะตรวจจับช่องว่างที่ซ่อนอยู่และการแยกชั้นของการเคลือบเพื่อป้องกันความไม่สอดคล้องกันทางความร้อนและความล้มเหลวของเวเฟอร์ที่มีค่าใช้จ่ายสูงในโรงงาน
กราไฟท์เซมิคอนดักเตอร์และควอตซ์หลอมละลายมีความสำคัญต่อการผลิตแผ่นเวเฟอร์ กราไฟท์ทนทานต่อความร้อนสูง ในขณะที่ควอตซ์รับประกันความบริสุทธิ์ เพิ่มผลผลิตให้เหมาะสม และลดต้นทุนทั้งหมด