Преимущество продукта
• Собственное сырье премиум-качества.
• Собственные технологии нанесения и очистки.
• Полный спектр операций обработки и комплексные меры контроля качества.
Технические параметры
Техническое описание графитового опорного лотка Harog для эпитаксии и отжига
Приложение |
Графит Чистота |
Толерантность |
КТР |
Ежемесячная мощность |
Примечание |
Кремниевая эпитаксия |
≤1 частей на миллион |
±0,005 мм |
4.2 |
500 комплектов |
Изготовление по чертежам заказчика. |
Светодиодная эпитаксия |
≤1 частей на миллион |
±0,005 мм |
4.0 |
1500 комплектов |
Особенности продукта
• Высокая чистота: изготовлен из графита сверхвысокой чистоты, что обеспечивает минимальное загрязнение и оптимальные условия для роста кристаллов.
• Термическая стабильность: демонстрирует исключительную термическую стабильность, сохраняя структурную целостность при повышенных температурах, имеющих решающее значение для процессов роста кристаллов.
• Однородная поверхность: Имеет гладкую и однородную поверхность, способствующую последовательному зарождению и росту кристаллов.
Технические преимущества
• Превосходная проводимость: Высокая электро- и теплопроводность способствует эффективной передаче энергии, повышая общую эффективность роста кристаллов.
• Низкий коэффициент расширения: Низкий коэффициент теплового расширения сводит к минимуму деформацию при колебаниях температуры, обеспечивая точный контроль размеров.
• Долговечность: исключительная механическая прочность и устойчивость к износу, обеспечивающие долгосрочную надежность и снижающие необходимость частой замены подложки.
Приложения
• Производство полупроводников: используется при эпитаксиальном выращивании полупроводниковых материалов, таких как кремний и арсенид галлия, что имеет решающее значение для производства высокопроизводительных электронных устройств.
• Нанесение тонких пленок: поддерживает процессы осаждения тонких пленок, обеспечивая стабильную платформу для равномерного осаждения материала.
• Процессы отжига: идеально подходят для отжига, когда материалы необходимо нагревать и охлаждать в контролируемой среде для достижения желаемых свойств.
Графитовые опорные лотки Harog Technology разработаны с учетом строгих требований процессов эпитаксии и отжига и предлагают надежное и высокопроизводительное решение для производства полупроводников и тонких пленок.
