Uma lista destes artigos
Peças semicondutoras de grafite facilita o acesso rápido a informações relevantes. Preparamos as seguintes
peças de grafite semicondutoras profissionais , na esperança de ajudar a resolver suas dúvidas e entender melhor as informações do produto de seu interesse.
Aprenda como manusear e limpar peças de grafite revestidas com SiC sem quebrar o revestimento, evitando a contaminação do wafer e maximizando a vida útil do componente.
Não deixe que a liberação de gases do substrato prejudique o rendimento do wafer. Descubra por que o grafite de alta pureza é fundamental para a adesão do revestimento de SiC em CVD e epitaxia.
Pare a delaminação de grafite revestida com SiC em fábricas de semicondutores. Aprenda as causas principais, soluções de incompatibilidade de CTE e dicas de fornecimento de alto rendimento.
Impedir defeitos de partículas em fábricas de semicondutores. Veja por que o Ra falha e como a rugosidade do Rz evita que as peças de grafite revestidas com SiC descasquem e fiquem presas.
Pare a perda de wafer: verifique a espessura do revestimento de SiC (50–120 µm), uniformidade de ±10% e correspondência de CTE para evitar delaminação e contaminação.