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Apprenez à manipuler et à nettoyer les pièces en graphite revêtues de SiC sans fissurer le revêtement, évitant ainsi la contamination des plaquettes et maximisant la durée de vie des composants.
Ne laissez pas le dégazage du substrat ruiner les rendements des plaquettes. Découvrez pourquoi le graphite de haute pureté est essentiel à l'adhérence des revêtements SiC en CVD et en épitaxie.
Arrêtez le délaminage du graphite recouvert de SiC dans les usines de fabrication de semi-conducteurs. Découvrez les causes profondes, les correctifs d'inadéquation CTE et les conseils d'approvisionnement à haut rendement.
Stoppez les défauts de particules dans les usines de fabrication de semi-conducteurs. Découvrez pourquoi Ra échoue et comment la rugosité Rz empêche l'écaillage et le piégeage des pièces en graphite revêtues de SiC.
Arrêtez la perte de tranche : vérifiez l'épaisseur du revêtement SiC (50 à 120 µm), l'uniformité de ± 10 % et la correspondance du CTE pour éviter le délaminage et la contamination.
