เรียนรู้วิธีจัดการและทำความสะอาดชิ้นส่วนกราไฟท์ที่เคลือบ SiC โดยไม่ทำให้สารเคลือบแตกร้าว ป้องกันการปนเปื้อนของแผ่นเวเฟอร์ และยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบให้สูงสุด
หยุดข้อบกพร่องของอนุภาคในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ ดูว่าทำไม Ra ถึงล้มเหลว และความหยาบของ Rz ป้องกันชิ้นส่วนกราไฟท์ที่เคลือบ SiC หลุดล่อนและหลุดล่อนได้อย่างไร
