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zu Halbleiter-Graphitteilen !
Erfahren Sie, wie Sie SiC-beschichtete Graphitteile handhaben und reinigen, ohne dass die Beschichtung Risse bekommt, wodurch eine Kontamination des Wafers verhindert und die Lebensdauer der Komponenten maximiert wird.
Lassen Sie nicht zu, dass das Ausgasen des Substrats die Waferausbeute ruiniert. Entdecken Sie, warum hochreiner Graphit für die Haftung von SiC-Beschichtungen bei CVD und Epitaxie entscheidend ist.
Stoppen Sie die Delaminierung von SiC-beschichtetem Graphit in Halbleiterfabriken. Erfahren Sie mehr über die Ursachen, Behebungen von CTE-Diskrepanzen und Tipps zur ertragsstarken Beschaffung.
Stoppen Sie Partikeldefekte in Halbleiterfabriken. Erfahren Sie, warum Ra versagt und wie die Rz-Rauheit das Abplatzen und Einklemmen von SiC-beschichteten Graphitteilen verhindert.
Stoppen Sie den Waferverlust: Überprüfen Sie die SiC-Beschichtungsdicke (50–120 µm), die Gleichmäßigkeit von ±10 % und die CTE-Übereinstimmung, um Delamination und Kontamination zu vermeiden.
