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Aprenda a manipular y limpiar piezas de grafito recubiertas de SiC sin agrietar el recubrimiento, evitando la contaminación de las obleas y maximizando la vida útil de los componentes.
No permita que la desgasificación del sustrato arruine el rendimiento de las obleas. Descubra por qué el grafito de alta pureza es fundamental para la adhesión del recubrimiento de SiC en CVD y epitaxia.
Detenga la delaminación del grafito recubierto de SiC en fábricas de semiconductores. Conozca las causas fundamentales, las correcciones de discrepancias de CTE y consejos de abastecimiento de alto rendimiento.
Detenga los defectos de partículas en las fábricas de semiconductores. Vea por qué falla Ra y cómo la rugosidad de Rz evita que las piezas de grafito recubiertas de SiC se descascaren y queden atrapadas.
Detenga la pérdida de oblea: verifique el espesor del recubrimiento de SiC (50–120 µm), la uniformidad de ±10 % y la coincidencia del CTE para evitar la delaminación y la contaminación.