製品の利点
• 総投資額 4,000万人民元
• 生産能力 4,500 セット/月
• 上位 3 位の産業規模
• 50名以上のエンジニアと専門人材
• 10 件以上の関連特許
技術的パラメータ
ハログの複合等方性グラファイトバイポーラプレートのデータシート
パラメータ |
ユニット |
データ |
密度 |
g/cm³ |
1.87 |
比抵抗 |
μΩ・m |
13 |
曲げ強度 |
MPa |
72 |
灰分含有量 |
ppm |
4.7 |
CTE |
1E-6/℃ |
4.7 |
ピース公差 |
mm |
±0.01 |
熱膨張 |
mm |
≤0.2 |
粒度 |
μm |
7 |
ショア硬度 |
HSD |
70 |
グラファイトボートコアテクノロジー
• 二次精製プロセスにより、 材料の純度が直接向上します。長期の使用条件下でも、グラファイトボートの各点の抵抗率は優れた均一性を維持し、均一な電流を確保し、コーティングの色の違いを減らし、グラファイトボートの酸化を効果的に遅らせ、最終的に耐用年数を向上させます。
• C コーティングプロセスにより 、ボートプレートの表面に完璧な平坦性と滑らかさが与えられ、グラファイトプレートとシリコンウェーハの間の接触面積が拡大するため、使用回数が増加し、最終的にはグラファイトボート全体の耐用年数が長くなります。
• バランス加工技術により グラファイトボートの内部応力を最大限に除去し、長期使用後もボートが変形しにくく、熱膨張を効果的に80%以上低減します。
